媒体の種類：国際学会
掲載紙／掲載誌／掲載メディア：38th IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS)
著者：Ken Uchida et al.
ナノシートガスセンサーの評価、動的解析、および熱モデリング
要旨
金属ナノシートおよびグラフェンガスセンサーは、マイクロエレクトロニクス用テスト素子群（TEG）に容易に組み込むことができる、高感度かつ低消費電力のプラットフォームを提供する。その極薄構造は化学抵抗変調を促進し、表面反応の定量的モデリングおよびオペランド分析を可能にする。自己発熱技術の最近の進歩により、最小限の電力で電圧プログラム可能な動作が可能となった。本研究では、ナノシートの作製、吸着・脱着のモデリング、自己発熱センサーの動作、オペランド表面分光法、熱を考慮した構造最適化、およびナノスケールの温度マッピングについて報告する。これらの手法を統合することで、IoT社会に向けたPt、PtRh、Au、およびグラフェンベースの低消費電力ナノシートセンサーの評価および設計のための統一的な枠組みを確立する。
https://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/11471734
