研究成果

学会

媒体の種類:学術論文
掲載紙/掲載誌/掲載メディア:Japanese Journal of Applied Physics

著者:Taro Kato, Takahisa Tanaka and Ken Uchida

ジュール加熱した金ナノシートを用いた低消費電力硫化水素センサーの熱考慮型デバイスの設計

我々は、低消費電力動作のためのジュール加熱された金ナノシート硫化水素センサーを実証しました。ジュール加熱された金ナノシートの低温領域が、均一加熱された金ナノシートよりも応答および回復特性が低いことを確認しました。熱伝導率が金よりも低い白金(Pt)電極を使用することで、電極への熱放散を抑制でき、結果として消費電力が低く、回復特性が速くなりました。その後、電気抵抗と熱抵抗の解析モデルを開発することで、最適なセンサー構造について考察しました。チャネルとパッド電極の間に半楕円形の中間電極を導入することで、熱放散を効率的に抑制し、最適なチャネル長と中間電極の熱伝導率(κint)がチャネル幅に応じて存在することを示しました。最後に、電気抵抗と熱抵抗のκint依存性を考慮したセンサーデザイン戦略を提案しました。この戦略は、すべての金属ナノシートセンサーにとって有用であり、最適な構造の推論を可能にします。

http://doi.org/10.35848/1347-4065/ad53b1

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